原位激光质谱光谱同步测量分析仪

摘要

本发明涉及元素分析仪，特别涉及激光烧蚀飞行时间质谱分析仪以及激光诱导击穿光谱分析仪。一种原位激光质谱光谱同步测量分析仪，其主要特点在于包括有靶样品设于激光光学系统的激光束、激光飞行时间质谱测量装置中的中心轴线及激光诱导击穿光谱测量装置的透镜组轴线相交点上；所述的激光光学系统包括有激光器，在激光束传输通道上设有紫外石英棱镜、紫外石英聚焦透镜以及特征波长高反射镜，激光脉冲聚焦在靶样品的表面产生等离子体羽；为了精确控制激光束焦点位置在所述的激光飞行时间质谱测量装置的真空腔室的前端还设有监控仪CCD以及靶样品的定位半导体激光器，分别设在靶样品轴线的两侧，CCD及定位半导体激光器轴线均指向靶样品。本发明的优点是以同一束激光在相同条件下烧蚀靶材料，可以获取相同烧蚀条件下，烧蚀产物的质谱与光谱信息。

主权项

一种原位激光质谱光谱同步测量分析仪，其特征在于包括有靶样品设于激光光学系统的激光束、激光飞行时间质谱测量装置中的中心轴线及激光诱导击穿光谱测量装置的透镜组轴线相交点上；所述的激光光学系统包括有激光器，在激光束传输通道上设有紫外石英棱镜、紫外石英聚焦透镜以及特征波长高反射镜，激光脉冲聚焦在靶样品的表面产生等离子体羽；在所述的激光飞行时间质谱测量装置的真空腔室的前端还设有监控仪CCD以及靶样品的定位半导体激光器，分别设在靶样品轴线的两侧，CCD及定位半导体激光器轴线均指向靶样品。