摘要 |
一种多晶晶碇的切割方法包含(A)制备坩埚,坩埚具底壁及围绕底壁以界定出容室的周壁,底壁具二维的平台区阵列,二维的平台区阵列具多数沿第一、二方向依序轮流设置的第一、二平台区,各相邻第一、二平台区间界定出切割线段,且切割线段定义出多数沿第一、二方向延伸的第一、二开方线,各第一、二平台区沿底壁的厚度方向各具第一、二厚度T1、T2,T1>T2;(B)融熔填于容室中的起始原料使成为熔汤;(C)定向凝固熔汤使成为多晶晶碇并于多晶晶碇底部转写有二维的平台区阵列与第一、二开方线;及(D)沿各第一、二开方线纵向切割多晶晶碇以成多数晶砖。 |