抛光垫修整器、抛光垫修整装置及抛光系统;POLISHING PAD DRESSER, POLISHING PAD DRESSING DEVICE AND POLISHING SYSTEM

摘要

本发明为一种抛光垫修整器、抛光垫修整装置及抛光系统，所述修整器包括：研磨颗粒；基体，具有研磨面，研磨颗粒固结在研磨面上，研磨面包括：相连的边缘研磨面和研磨面，边缘研磨面环绕在研磨面的周围；研磨面为平面，且研磨面高于边缘研磨面。在对抛光垫进行修整时，由于研磨面的研磨面高于边缘研磨面，使得边缘研磨面上的研磨颗粒高于研磨面上的研磨颗粒，故当抛光垫修整器进入抛光垫的压入深度较小时，大部分边缘研磨面上的研磨颗粒不会进行研磨，因而减少了位于边缘位置的研磨颗粒的使用频率，降低了位于边缘位置的研磨颗粒的剥落可能；另外，还降低了位于边缘位置的研磨颗粒与抛光垫边缘发生碰撞的可能。