发明名称 |
检测铝阳极氧化膜抗氟腐蚀性之方法;METHOD OF DETECTING ANTI-FLUORIDE CORROSION RESISTANCE OF ANODICALLY OXIDIZED ALUMINUM FILM |
摘要 |
一种检测铝阳极氧化膜抗氟腐蚀性之方法,该方法包含:制备铝阳极氧化膜;将铝阳极氧化膜经电感耦合式电浆通入四氟甲烷气体后进行蚀刻以获得经蚀刻铝阳极氧化膜;以及检测经蚀刻铝阳极氧化膜之介电强度及表面型貌。 |
申请公布号 |
TW201447263 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
申请号 |
TW102120002 |
申请日期 |
2013.06.05 |
申请人 |
大叶大学 |
发明人 |
李弘彬 |
分类号 |
G01N17/00(2006.01);C25D11/04(2006.01) |
主分类号 |
G01N17/00(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
<name>李国光</name><name>张仲谦</name> |
主权项 |
|
地址 |
彰化县大村乡学府路168号 |