| 摘要 |
Eine Mehrkanal-Sondenplatte enthält einen elektrisch isolierenden Körper mit gegenüberliegender erster und zweiter Hauptoberfläche und mehrere beabstandete elektrisch leitende Koppelgebiete, die an der ersten Hauptoberfläche in den Körper eingebettet oder daran angebracht sind. Jedes der Koppelgebiete deckt eine andere Zone eines Halbleiter-Package ab, wenn das Package in unmittelbarer Nähe zu der ersten Hauptoberfläche der Platte positioniert ist. Eine Schaltungsanordnung, die elektrisch mit jedem der Koppelgebiete der Sondenplatte über einen anderen Kanal verbunden ist, kann betätigt werden zum: Messen eines Parameters, der den Grad an kapazitiver Kopplung zwischen jedem Koppelgebiet der Sondenplatte und der Zone des Halbleiter-Package, die von dem entsprechenden Koppelgebiet abgedeckt ist, anzeigt; Liefern eines Kapazitätssignals auf der Basis des für jedes der Koppelgebiete der Sondenplatte gemessenen Parameters und Wählen verschiedener der Kapazitätssignale für die Analyse. |
