| 摘要 |
本発明は、照射部（２）および検出部（４）による移動物体（１）の相対位置データおよび／または幾何学的寸法の実時間測定に関し、移動物体（１）は照射部（２）および検出部（４）に相対的に移動可能に誘導される。光線群（３）が照射部（２）から検出部（４）へ向けて発せられ、移動物体（１）は照射部（２）と検出部（４）の間で光線群（３）で満たされた空間内に突出することにより、移動物体（４）に起因する影の影境界が検出部（４）の上まで伸びる。検出部（４）は、光輝性粒子を含む２次元光導波路として設計された２次元光位置検出器（４．１）を備えている。前記２次元光導波路からの信号は、互いに間隔を置いられた複数の小領域光電センサ（４．１．１）により読み出され、当該信号の強度は導波路モードにおける検出器の位置での光（４．１．１）の光度と相関している。【選択図】図１ |
