一种溅射镀膜的靶材结构

摘要

本实用新型公开了一种溅射镀膜的靶材结构，包括一平板靶材，靶材底面设有若干排柱状磁铁，相邻排的磁铁极性互异，两侧的磁铁顶部表面设有朝向中间的斜面，中间的磁铁顶部两侧分别设有朝向两侧的斜面。其有益效果在于，通过调整磁铁表面的倾斜度，将其做成极靴，有效增多了平行于靶面的磁力线数量，从而提高了靶材利用率，而且一次投资少，不需要更改其他硬件设备及调整生产工艺。

主权项

一种溅射镀膜的靶材结构，其特征在于，包括一平板靶材，靶材底面设有若干排柱状磁铁，相邻排的磁铁极性互异，两侧的磁铁顶部表面设有朝向中间的斜面，中间的磁铁顶部两侧分别设有朝向两侧的斜面。