发明名称 |
用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器 |
摘要 |
本发明公开一种用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:加热器包括弧形的正负极电极板、汇流钨环、正极栅和负极栅,以及四个均匀分布的电极爪,其中,正、负极栅均含有一组变径钨杆,一组变径钨杆中的每根变径钨杆上至少包括两节不同直径的钨杆,不同直径的变径钨杆结合部通过与两端杆径匹配的锥台平滑过渡连接;所述弧形的正负极电极板上分别设有一个电极爪,正、负极栅依次相间排列,正、负极栅的一端均与汇流钨环焊接,另一端分别与弧形的正、负极电极板对应焊接;正、负极栅的曲面分别为90弧度,正、负极电极板合围后中心呈管状的加热区;本发明可以形成良好的温度梯度,提高成品率,实现蓝宝石单晶体自动生长。 |
申请公布号 |
CN104178803A |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
申请号 |
CN201410447838.5 |
申请日期 |
2014.09.04 |
申请人 |
南京晶升能源设备有限公司 |
发明人 |
李辉;毛瑞川;姜宏伟 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
江苏圣典律师事务所 32237 |
代理人 |
杨文晰;孙忠浩 |
主权项 |
一种用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:加热器包括弧形的正负极电极板、汇流钨环、正极栅和负极栅,以及四个均匀分布的电极爪,其中,正、负极栅均含有一组变径钨杆,一组变径钨杆中的每根变径钨杆上至少包括两节不同直径的钨杆,不同直径的变径钨杆结合部通过与两端杆径匹配的锥台平滑过渡连接;所述弧形的正负极电极板上分别设有一个电极爪,正、负极栅依次相间排列,正、负极栅的一端均与汇流钨环焊接,另一端分别与弧形的正、负极电极板对应焊接;正、负极栅的曲面分别为90弧度,正、负极电极板合围后中心呈管状的加热区。 |
地址 |
210000 江苏省南京市经济技术开发区恒发路30号 |