曝光方法与装置以及元件制造方法

摘要

一种能使光罩的图案小型化的曝光方法。本发明的曝光方法包括：照明工程，对形成着X方向上具有周期性的图案的光罩MA的图案区域A1～图案区域A4，周期性地脉冲照射照明光，藉由已穿过该图案的照明光来对板进行曝光；以及移动工程，于该照明光的脉冲照射的各周期，根据X方向上的该图案的图案周期，使板向着与X方向相对应的移动方向移动。

主权项

一种曝光方法，其特征在于包括：照明工程，对规定方向上具有周期性的图案周期性地脉冲照射曝光光，藉由已穿过上述图案的上述曝光光对物体进行曝光；以及移动工程，于上述曝光光的脉冲照射的各周期，根据上述规定方向上的上述图案的图案周期，使上述物体向着与上述规定方向相对应的移动方向移动。