绝对式光栅尺的防振读码装置

摘要

本实用新型是一种绝对式光栅尺的防振读码装置。包括有用于采集绝对光栅条纹和校正增量条纹的CMOS/CCD传感器阵列、带微透镜阵列的光学放大系统、用于辅助校正振动方向和测量的带有绝对式编码和校正增量条纹的绝对式光栅尺、FPGA驱动单元、DSP图像处理单元、校正补偿单元。本实用新型采用的绝对式光栅尺为并列布置的高精度绝对编码和低精度的校正增量码编码的双码道光栅尺，由FPGA同时驱动CMOS/CCD传感器阵列的四个单元来采集图像，并有序地对比图像中的校正增量码来获得有效的振动方向，并通过运动校正补偿单元来补偿运动，使得整体编码图像清晰，有效提高了正确读码率，实现了高精度测量。

主权项

一种绝对式光栅尺的防振读码装置，其特征在于包括有用于采集绝对光栅条纹和校正增量条纹的CMOS/CCD传感器阵列（1～4）、带微透镜阵列（5）的光学放大系统（6）、用于辅助校正振动方向和测量的带有绝对式编码（7）和校正增量条纹（8）的绝对式光栅尺（9）、FPGA驱动单元（10）、DSP图像处理单元（11）、校正补偿单元（12），其中带微透镜阵列（5）的光学放大系统（6）置于绝对式光栅尺（9）的上方，CMOS/CCD传感器阵列（1～4）呈2x2矩阵安装在CMOS/CCD传感器固定板（14）上，并置于光学放大系统(6)的放大图像信息的位置上,而CMOS/CCD传感器固定板（14）通过球铰链（15）安装到校正补偿单元（12）上，并以若干个压电陶瓷片（16～19）作为机构支撑点，绝对式光栅尺（9）的绝对式编码（7）和校正增量条纹（8）通过光学放大系统（6）放大并成像在CMOS/CCD传感器阵列（1～4）上，FPGA驱动模块（10）与FPGA驱动单元（10）及DSP图像处理单元（11）连接。