一种掩膜板的清洗方法

摘要

本发明公开了一种掩膜板的清洗方法，包括以下步骤：将掩膜板浸泡在丙酮中，同时用滚筒刷对掩膜板的表面从各个方向进行滚动刷洗；再将掩膜板浸泡在去离子水中进行超声清洗；重复以下步骤5次：将掩膜板放入气体和液体的强力混合流体中进行清洗后，再将掩膜板放入流动的去离子水中进行冲洗；最后将掩膜板用气体吹干。本发明方法采用丙酮并配以聚乙烯醇材质的滚筒刷来代替SPM溶液，清洗效果与现有SPM溶液清洗方法相当，但是由于丙酮不会与Cr发生化学反应，它只是将光刻胶等杂质去除而不会将掩膜板上的图形破坏，因此减少了因清洗而对掩膜板造成的损伤，从而提高掩膜板的寿命，降低企业的生产成本。

主权项

一种掩膜板的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：S1：将掩膜板浸泡在丙酮中，同时用滚筒刷对掩膜板的表面从各个方向进行滚动刷洗；S2：将掩膜板浸泡在去离子水中进行超声清洗；S3：将掩膜板放入气体和液体的强力混合流体中进行清洗；S4：将掩膜板放入流动的去离子水中进行冲洗；S5：重复步骤S3、S4的操作进行5次；S6：将掩膜板用气体吹干。