发明名称 卧式炉炉管和卧式炉
摘要 本实用新型提供了一种卧式炉炉管和一种卧式炉,其中,卧式炉炉管包括:炉管腔体;LOAD端,用于盛放待送入炉管腔体内的产品,并可在外力的作用下将产品推入或拉出炉管腔体;石英门,设置在LOAD端上,用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时,随LOAD端进入炉管腔体,并堵塞炉管腔体的开口;固定底座,设置在LOAD端上,固定底座与石英门通过石英杆相连,以对石英门进行固定;挡板,设置在LOAD端上,且设置固定底座与石英门之间,用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时,在炉管腔体外堵塞炉管腔体的开口;连接件,用于连接石英杆与挡板。本实用新型的技术方案可以避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时,由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的而脱落损坏石英杆和石英门。
申请公布号 CN203950787U 申请公布日期 2014.11.19
申请号 CN201420342521.0 申请日期 2014.06.24
申请人 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 发明人 谢石斌;陈春河
分类号 H01L21/67(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I;C30B31/10(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 代理人 尚志峰;汪海屏
主权项 一种卧式炉炉管,其特征在于,包括: 炉管腔体; LOAD端,用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品,并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体; 石英门,设置在所述LOAD端上,用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时,随所述LOAD端进入所述炉管腔体,并堵塞所述炉管腔体的开口; 固定底座,设置在所述LOAD端上,所述固定底座与所述石英门通过石英杆相连,以对所述石英门进行固定; 挡板,设置在所述LOAD端上,且设置所述固定底座与所述石英门之间,用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时,在所述炉管腔体外堵塞所述炉管腔体的开口; 连接件,用于连接所述石英杆与所述挡板。 
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