发明名称 供无电电镀之铜表面活化之方法;METHOD FOR ACTIVATING A COPPER SURFACE FOR ELECTROLESS PLATING
摘要 本发明系关于一种用于使铜或铜合金表面活化,以藉由无电(自身催化)电镀在其上沉积金属或金属合金层之方法,其中不想要的孔隙之形成受到抑制。使该铜或铜合金表面与钯离子、至少一种膦酸酯化合物及卤离子接触,随后无电(自身催化)沉积金属(诸如钯)或金属合金(诸如Ni-P合金)。
申请公布号 TW201443277 申请公布日期 2014.11.16
申请号 TW103110919 申请日期 2014.03.24
申请人 德国艾托特克公司 发明人 奇连 亚德特;魏格瑞奇特 珍斯;洛坦 多尼
分类号 C23C18/18(2006.01);C23C18/54(2006.01);C23C18/31(2006.01) 主分类号 C23C18/18(2006.01)
代理机构 代理人 <name>陈长文</name>
主权项
地址 德国