离轴对准系统及对准方法

摘要

一种离轴对准系统及方法，该系统按光束传播路径依次包括照明模组、干涉模组及探测模组，该干涉模组包括：具有四个侧面的偏振分束器，该照明模组和探测模组均位于偏振分束器的第一侧；第一1/4波片和第一反射镜，依次位于与第一侧相对的第二侧；偏振分束器的另外两侧分别设有第二1/4波片、角锥棱镜和第三1/4波片、第二反射镜及透镜，第二反射镜位于透镜的后焦面上，角锥棱镜的底面中心位于透镜的光轴上。采用离轴对准系统的光栅二次绕射技术，入射光束先后两次经过对准标记，且第二次绕射光束方向与原入射方向完全相反，以确保对准标记倾斜和/或离焦时探测结果不会受到影响。

主权项

一种离轴对准系统，其特征在于，按光束传播路径依次包括一照明模组、一干涉模组以及一探测模组，其中：该照明模组包括一光源、多波长入射光纤以及一分光元件；该探测模组依次包括一探测透镜组、一偏振装置、一探测光纤以及一光电探测器；该干涉模组包括：一偏振分束器，具有四个侧面，该照明模组和该探测模组均位于该偏振分束器的第一侧面；一第一1/4波片和一第一反射镜，依次设在与该第一侧面相对的该偏振分束器的第二侧面；一第二1/4波片、一角锥棱镜，依次设在该偏振分束器的第三侧面；和一第三1/4波片、一第二反射镜以及一透镜，依次设在与该第三侧面相对的该偏振分束器的第四侧面，该第二反射镜位于该透镜的后聚焦面上，该角锥棱镜的底面中心位于该透镜的光轴上。