应用于介电质或其它材料的激光处理中的声光偏转器

摘要

一种激光处理系统，用于将一工件微机械加工，包括：一激光源，以产生激光脉冲用于处理在该工件中的特征；一电流计驱动(galvo)子系统，用于沿着相对于该工件表面的一处理轨迹，给予激光射束点位置的第一相对移动；以及一声光偏转器(AOD)子系统，其沿着垂直于该处理轨迹的方向，将一激光射束点有效地加宽。该AOD子系统可以包括AOD与电光偏转器的组合。该AOD子系统可以改变该激光脉冲的强度轮廓，作为沿着颤动方向偏转位置的函数，而在该颤动方向中将该特征选择地成形。可以使用该成形将该工件上的特征相交。该AOD子系统亦可提供：扫描、电流计误差位置修正、功率调变及/或透过透镜观看以及对准该工件。

主权项

一种用于将激光射束颤动以处理在一工件中特征的方法，其包括以下步骤：使用一第一定位系统，沿着一处理轨迹，给予激光射束点位置的第一相对移动；使用一第二定位系统，沿着相对于该处理轨迹的一颤动方向，给予该激光射束点位置的第二相对移动，其中该第二相对移动是重迭在该第一相对移动上，以及其中，该第二相对移动的速度实质上大于该第一相对移动的速度，使用该第二定位系统，根据在该工件上之一或更多个相对应目标位置处的特定特性特征，对激光射束实施振幅调变；以及在该第二相对移动期间，将该激光射束发射至该工件，而在该颤动方向中有效地加宽在该工件的激光射束点。