一种工业气体中痕量水份和痕量氧检测的联检方法和装置

摘要

本发明提供一种工业气体中痕量水份和痕量氧检测的联检方法和装置，装置由下述五个部分组成：痕量水份检测：电解测水份的尾气用于氧量标校；痕量氧检测：脱氧气用于校零，测量尾气用于清除空气污染；共用旁路排放和压力调控与水、氧检测并联；使水氧联检具备“检测”和“待命”功能及状态自动转换的辅助气系统；快速清除采样污染的排洗式采样输入部分。装置用于检测含水份和氧＜3PPMv的工业气体时，五分钟内就能获取准确含量值。本发明可以彻底解决在检测范围内的工业气体中，痕量水份和痕量氧长期以来检测不准，传感器容易损坏，检测系统操作费时费事等一系列老大难题，使工业气体痕量水份和痕量氧检测技术，首次步入国际同行的前列。

主权项

一种工业气体中痕量水份和痕量氧检测的联检装置，待测气瓶(1)连接的进气管经样气入口(3),一路连接痕量水份检测气路的水份检测器(5)，由第一数字显示器(6)显示水份数据，之后的尾气输出管道经流量调节阀(7)和电磁阀(8)，连通到标校四通阀(14)，然后经第一流量计(9)联结到水份出口(10)；另一路经第一流量调节阀(11)依次连结氧检测气路的校零四通阀(12)、标校四通阀(14)、检测四通阀(15)和氧检测器(16)，由第二数字显示器(17)显示氧量数据，之后的尾气输出管道又依次连通到痕量氧检测器(16)、检测四通阀(15)、标校四通阀(14)和校零四通阀(12)的壳套内，然后经第二流量计(18)连接到氧量出口(19)，其特征是：待测气进气管另分出一旁路，经第一压力表(20)、旁路压力调控器(21)和第三流量计(22)连接到样气旁通排放口(23)，该旁路通过三通阀与痕量水份检测气路和痕量氧检测气路进气管并联；另有一辅助气进样系统，辅助气瓶(24)连接的进气管，经第二压力表(29)、辅助气压力调控器(30)和第四流量计(31)，连接到辅助气旁通排放口(32)，该路进气管由三通阀分出一路，经第二流量调节阀(28)，与痕量水份检测气路和痕量氧检测气路进气管联接。