微细空孔之内壁面处理方法

摘要

提供一种孔内壁面处理方法,即使被处理基体上设置之孔是窄而深的孔,仍能确实进行蚀刻或洗净。将设置有基体(100)且可减压之处理空间予以减压,其中该基体具有被施予处理液(106)之表面、及内部具有在该表面有开口(110)之微细空孔(104),而微细空孔(104)的深宽比(l/r)为5以上,或是深宽比未满5且V/S(V:微细空孔的容积、S:开口的面积)为3以上;接着于该被减压的处理空间导入处理液(106),以处理微细空孔(104)的内壁面。