发明名称 具有硅穿孔的整合结构
摘要 本发明涉及一种具有硅穿孔的整合结构,包含:衬底;硅穿孔,贯穿该衬底;导电保护结构,围绕该硅穿孔;第一与第二导电冗余图案,介于该硅穿孔与该导电保护结构之间且具有不同的形状。
申请公布号 CN104124228A 申请公布日期 2014.10.29
申请号 CN201310156159.8 申请日期 2013.04.28
申请人 艾芬维顾问股份有限公司 发明人 黄昭元;何岳风;杨名声;陈辉煌
分类号 H01L23/528(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I 主分类号 H01L23/528(2006.01)I
代理机构 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人 史霞
主权项 一种具有硅穿孔的整合结构,包含:衬底;硅穿孔,贯穿该衬底;导电保护结构,围绕该硅穿孔;及第一与第二导电冗余图案,介于该硅穿孔与该导电保护结构之间且具有不同的形状。
地址 中国台湾新竹市香山区芝柏三街52号
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