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<p>Vorrichtung mit einer elektrisch isolierenden Hülse 41 für eine Elektrodenhalterung 21 in CVD Reaktoren, umfassend eine zur Aufnahme eines Filamentstabes 81 geeigneten Elektrode 31 auf einer Elektrodenhalterung 21 aus einem elektrisch leitfähigen Material, die in einer Aussparung einer Bodenplatte 11 angebracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch isolierende Hülse 41 aus einem Siliconelastomer besteht, welches einen spezifischen Durchgangswiderstand von mindestens 1012Ωcm gemessen nach IEC 60093 aufweist.</p> |
