发明名称 Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen Struktur für die Medizintechnik
摘要 <p>Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen Struktur für die Medizintechnik aus aufeinanderfolgenden Schichten umfassend: (A) Erstellen einer Mehrzahl aufeinanderfolgender Schichten, wobei jede der aufeinanderfolgenden Schichten, bis auf eine erste Schicht, auf einer vorherigen Schicht angeordnet ist, wobei–jede der aufeinanderfolgenden Schichten mindestens zwei Materialien aufweist, wobei ein Material ein Opfermaterial und ein Material ein Strukturmaterial ist,–jede der aufeinanderfolgenden Schichten einen aufeinanderfolgenden Querschnitt durch die dreidimensionale Struktur definiert, das Erstellen jeder der Schichten die folgenden Schritte umfasst: I. Abscheiden des Opfermaterials mittels eines elektrochemischen Prozesses, II. Abscheiden des Strukturmaterials mittels physikalischer Gasphasenabscheidung, wobei das Strukturmaterial ein Metall ist, (B) Freilegen der dreidimensionalen Struktur nach einem Erstellen einer Mehrzahl aufeinanderfolgender Schichten durch ein Entfernen wenigstens eines Teils des Opfermaterials, dadurch gekennzeichnet, dass das Opfermaterial wenigstens eines aus der Gruppe Nickel oder Palladium ist, das Strukturmaterial ein Platin- und/oder Refraktärmetall aufweist, und mittels physikalischer Gasphasenabscheidung mindestens zwei Metalle parallel abgeschieden werden, wobei sich die zwei Metalle als Strukturmaterial zu einer Legierung verbinden.</p>
申请公布号 DE102010024498(B4) 申请公布日期 2014.10.16
申请号 DE20101024498 申请日期 2010.06.21
申请人 HERAEUS PRECIOUS METALS GMBH & CO. KG 发明人 SPECHT, HEIKO;REISINGER, ANDREAS;HAUSCH, ULRICH;TRÖTZSCHEL, JENS;KRÜGER, FRANK
分类号 C23F17/00;B81C1/00;C23C28/02;H01L21/768 主分类号 C23F17/00
代理机构 代理人
主权项
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