| 摘要 |
提供一种藉由基材之自转及公转，而能够在基材之外周面形成具有圆周方向均一性优异之膜厚的复合皮膜的PVD处理装置(1)及方法。PVD处理装置(1)系具备：真空腔室；及公转载台，用以在真空腔室内使复数个基材(W)绕公转轴(7)而公转；及自转载台(4)，用以使各基材(W)在公转载台上绕与公转轴(7)呈平行之自转轴(8)而自转；及复数种靶材(5)，设置于在公转载台之径向外侧且在圆周方向相互地分离的位置；以及载台旋转机构(6)，在基材(W)通过从各靶材(5)之对包络各自转载台(4)之圆弧所拉出的二条切线(L1、L2)之间的期间使自转载台(4)以180°以上之角度进行自转。 |
