发明名称 Aufteilungsverfahren für scheibenförmiges Werkstück
摘要 Ein Aufteilungsverfahren für ein scheibenförmiges Werkstück mit einer Vielzahl von ersten Aufteilungslinien und einer Vielzahl von zweiten Aufteilungslinien, welche die ersten Aufteilungslinien schneiden, wird bereitgestellt. Das Werkstück wird entlang der ersten und zweiten Aufteilungslinien unter Verwendung einer Schneidklinge in einer Runterschnittweise geschnitten, während ein Kühlschmierstoff der Schneidklinge zugeführt wird, wobei das Werkstück vollständig in einer Dickenrichtung davon geschnitten wird, um eine Vielzahl von Chips zu erhalten. Das Aufteilungsverfahren umfasst einen ersten Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der ersten Aufteilungslinien und einen zweiten Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der zweiten Aufteilungslinien. In zumindest dem zweiten Schneidschritt wird der äußere Umfang des Werkstücks an dem Schneidende von jeder zweiten Aufteilungslinie nicht geschnitten, um einen ungeschnittenen Bereich auszubilden, wodurch das Ausbilden von Abfallspänen unterdrückt wird.
申请公布号 DE102014206527(A1) 申请公布日期 2014.10.09
申请号 DE201410206527 申请日期 2014.04.04
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 HIROSAWA, SHUNICHIRO
分类号 H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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