| 发明名称 |
负型感光性矽氧烷组成物 |
| 摘要 |
本发明之课题系提供一种具有高感度与高残膜率特性的感光性矽氧烷组成物，其系高解析度、高抗热性、高透明性，不致提高交联剂或矽氧烷化合物之分子量，而可抑制热硬化中易于发生的热下垂。本发明之解决方法系一种负型感光性聚矽氧烷组成物，其特征为包含(I)聚矽氧烷、(II)藉由照射放射线而释出酸的芳香族醯亚胺化合物、以及(III)溶剂。 |
| 申请公布号 |
TW201437765 |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
| 申请号 |
TW103105399 |
申请日期 |
2014.02.19 |
| 申请人 |
ＡＺ电子材料卢森堡有限公司 |
发明人 |
横山大志;田代裕治;野中敏章;平原衣梨;帕洛斯基 乔治 |
| 分类号 |
G03F7/075(2006.01);C08G77/04(2006.01);C08K5/3437(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/075(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>王彦评</name><name>赖碧宏</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
卢森堡 |
