用于保护玻璃板的气相沉积系统和工艺

摘要

提供一种在拉制工艺中使用大气气相沉积对玻璃带的表面进行涂敷的方法。该方法包括形成粘弹性状态的玻璃带，理想地通过熔化拉制形成。玻璃带在粘弹性状态下被拉制。玻璃带在粘弹性状态下冷却至弹性状态。玻璃带被引入反应器的开口端。该反应器包括多个通道。第一通道引导第一反应剂气体，第二通道引导第二反应剂气体，并且一个或多个第三通道抽取过量的反应剂或用惰性气体流洗涤它或两者兼有。

主权项

一种在拉制工艺中使用气相沉积对玻璃带的表面进行涂敷的方法，所述方法包括：形成处于粘弹性状态的玻璃带；拉制在粘弹性状态下的玻璃带；将所述粘弹性状态下的玻璃带冷却至弹性状态；将所述玻璃带引入反应器的开口端，所述反应器包括多个通道，其中至少第一通道引导第一反应剂气体，至少第二通道引导反应剂气体，并且至少第三通道引导惰性气体流或抽真空；将所述第一反应剂气体从所述第一通道引导到所述反应器内的玻璃带上；将所述第二反应剂气体从所述第二通道引导到所述反应器内的玻璃带上；以及通过来自所述反应器内的第三通道的惰性气体流，或通过所述反应器内的第三通道抽走过量的反应剂，将所述过量的反应剂从所述玻璃带清洗掉。