发明名称 |
液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法 |
摘要 |
本发明提供一种液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法。液体加热单元、具有该液体加热单元的液处理装置、液处理方法能够对内部的液体由于放射光的透过而被加热的液体存储槽或者导管的温度进行监视。本发明公开了一种液体加热单元,其包括:灯加热器,其放射出放射光;圆筒构件,其具有能够供上述灯加热器在内部空间中贯穿的圆筒形状,并由可透过上述放射光的材料形成;液体流通部,其沿着上述圆筒构件的外周部配置,并利用上述放射光来加热流过内部的液体;反射板,其从外侧覆盖上述液体流通部,并反射上述放射光;第1温度传感器,其安装在上述反射板的外部。 |
申请公布号 |
CN102401465B |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201110264261.0 |
申请日期 |
2011.09.01 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社 |
发明人 |
西田俊彦;江岛和善;中山寿一 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;F24H1/14(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;张会华 |
主权项 |
一种液体加热单元,其中,其包括:灯加热器,其放射出放射光;圆筒构件,其具有能够供上述灯加热器在内部空间中贯穿的圆筒形状,由可透过上述放射光的材料形成;液体流通部,其沿着上述圆筒构件的外周部配置,利用上述放射光来加热流过内部的液体;反射板,其从外侧覆盖上述液体流通部,用于反射上述放射光;第1温度传感器,其安装在上述反射板的外部;调温器,其与上述第1温度传感器电连接,上述调温器在上述反射板的由上述第1温度传感器测量的温度超过基准温度时发出信号,该基准温度是根据上述圆筒构件的温度与上述反射板的温度之间的相关关系决定的基准温度。 |
地址 |
日本东京都 |