光源装置

摘要

以与加工对象物的形状无关、且不发生对应于位置的处理不匀的方式实现能够实施针对加工对象物的压印加工的光源装置。光源装置（1）具有：光源（2），包括第1发光部及第2发光部；控制部（4），能够对第1发光部及第2发光部分别进行光量调整；柱型积分仪组（3），具备多个柱型积分仪。柱型积分仪组（3）包括第1柱型积分仪（11）以及以包围第1柱型积分仪（11）的外周的方式而形成的第2柱型积分仪（12）。第1柱型积分仪（11）将从第1发光部射出的光取入，对被照射物（6）的第1照射区域（15）照射光；第2柱型积分仪（12）将从第2发光部射出的光取入，对被照射物（6）的第2照射区域（16）照射光。

主权项

一种针对被照射物照射光的压印用的光源装置，其特征在于，具有：光源，包括第1发光部及第2发光部；控制部，能够针对所述第1发光部及所述第2发光部分别进行光量调整；柱型积分仪组，具备多个柱型积分仪；所述柱型积分仪组包括第1柱型积分仪、以及以包围所述第1柱型积分仪的外周的方式而形成的第2柱型积分仪；所述第1柱型积分仪将从所述第1发光部射出的光取入，并针对所述被照射物的第1照射区域照射光；所述第2柱型积分仪将从所述第2发光部射出的光取入，并针对所述被照射物的与所述第1照射区域不同的第2照射区域照射光。