| 发明名称 |
监测在实质上不含氧和氮之电浆灰化方法中氧和／或氮物种程度的方法 |
| 摘要 |
本发明系关于监测在实质上不含氧和氮之电浆灰化方法中氧和/或氮程度的方法，其一般包括利用光发射来监测该电浆。电浆中所存在之低程度氧和/或氮物种对一般含量丰富之其他物种所产生的效应系被监测，并与该电浆中所存在之氧和氮的量加以关联。这所谓”效应侦测”方法监测与异于氮和/或氧之物种特别有关的光谱因微量氧和/或氮物种的存在所造成的扰动，并用于以1ppm大小(且可能以1ppb大小)之灵敏度来定量测定氧和/或氮之含量。 |
| 申请公布号 |
TWI453821 |
申请公布日期 |
2014.09.21 |
| 申请号 |
TW096108898 |
申请日期 |
2007.03.15 |
| 申请人 |
蓝姆研究公司 美国 |
发明人 |
帕拉尼库马兰 塞提佛;汤玛斯 柏克利;亚伦 贝克纳 |
| 分类号 |
H01L21/311;G03F7/42 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
许峻荣 新竹市民族路37号10楼 |
| 主权项 |
一种监测在基板之实质上不含氧和氮之电浆灰化方法中氧和/或氮物种的方法，该方法包括：使一电浆气体组成物暴露于一能量来源中而形成反应性物种，以形成一实质上不含氮物种和氧物种之电浆；监测与该电浆气体组成物之一或多种主要组分特别有关之光发射信号；并使所监测光发射信号受该电浆气体组成物中氧和/或氮物种之存在影响所造成的扰动与该电浆中特定量之氧和/或氮物种加以关联。 |
| 地址 |
美国 |
