| 摘要 |
Die Absicht dieser Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Substrattransport bereitzustellen, die das Substrat ohne irgend einen mechanischen Kontakt tragen soll, wenn das Substrat in vielfältigen Herstellungsprozessen einschließlich Halbleiter, Anzeige und dergleichen transportiert werden muss. Für den Zweck der vorstehende erwähnten Absicht soll diese Erfindung ein Substrattransportverfahren und seine relevante Vorrichtung bereitstellen, durch und in welchen eine Führung entlang dem Weg, in welchem das Substrat transportiert werden soll, montiert werden soll; eine Anzahl von Leiterbereichen hergestellt werden soll, von denen jeder von jedem anderen isoliert ist; Leiter auf dem Substrat angebracht oder aufgetragen werden sollen, das entlang der Führung transportiert werden soll; eine Spannung an die auf der Führung hergestellten Leiter angelegt werden soll, dann das durch die elektrifizierten Leiter auf der Führung erzeugte elektrostatische Feld die Leiter auf dem Substrat, die am nächsten zu denjenigen auf der Führung angeordnet sind, elektrifizieren soll, was eine elektrostatische Anziehung zwischen dem Substrat und der Führung induziert; das Substrat in Richtung der Führung aufgrund der elektrostatischen Anziehung in der Schwebe gehalten werden soll; und das Substrat in dem schwebenden Zustand als solches entlang der Führung unter Aufrechterhaltung eines gewissen Abstands gleiten soll, um zu verhindern, dass es selbst die Führung berührt. |
