一种用于蓝宝石衬底的接触式厚度测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于蓝宝石衬底的接触式厚度测量装置及方法，其特征在于：所述的装置包括①晶片保持件（104）与测量千分表（108）的探针（107）分别由两个固定支架（102）固定；②两个固定支架（102）利用滑轨（110）滑入底座（101），并利用螺丝（103）固定对准；③定位激光源（112）安置在固定支架（102）的滑动槽（115）内，上、下移动并通过托架（114）保持定位激光源（112）之间的相对位置。所述定位激光源至少为2个，当定位激光源为4个时以口字方式连接。本发明所述的方法包括（A）激光源和千分表校准，（B）测量方法。本发明提供的测量装置具有测量精度高、误差小、重复性高的特点，不仅适用于蓝宝石晶片的测量，也适合于其他晶片的厚度测量。

主权项

一种用于蓝宝石衬底厚度的接触式测量装置，其特征在于：①晶片保持件（104）与测量千分表（108）的探针（107）分别由两个固定支架（102）固定；②两个固定支架（102）利用滑轨（110）滑入底座（101），并利用螺丝（103）固定对准；③定位激光源（112）安置在固定支架（102）的滑动槽（115）内，上、下移动并通过托架（114）保持定位激光源（112）之间的相对位置。