电浆处理装置

摘要

揭示一种可降低供电线或匹配器中的功率损失之电浆处理装置。电浆处理装置(100)系具备:复数个电浆处理部(3);匹配器(4),在复数个电浆处理部(3)之电浆负载与高频电源部(2)之间进行阻抗匹配;供电部(5),对复数个电浆处理部(3)供应在匹配器(4)所阻抗匹配之高频电力。供电部(5)系具有对复数个电浆处理部(3)的各个,使用感应耦合供应高频电力之感应耦合部(6)。感应耦合部(6)系包含:直线状的1次侧供电棒(7),从高频电源部(2)经由匹配器(4)的输出,被供给有高频电力;及复数个2次侧线圈(8),藉由在1次侧供电棒(7)周围所产生之高频变动磁通量使产生感应电动势,并对复数个电浆处理部(3)的各个供应由该感应电动势所产生的感应电流。