| 摘要 |
本发明的课题为提供可对板状构件进行光定向程式的装置，可实现高生产性的装置。其解决手段为照射单元(1)对照射区域(R)照射偏光光，载台移动机构(3)交替搬运搭载着基板(S)的第一、第二载台(21、22)并回到照射区域(R)。在位于第一基板搭载位置的第一载台(21)和照射区域(R)之间，确保有第二载台(22)上的基板(S)通过照射区域(R)的量以上的空间(L1)，并在位于第二基板搭载位置的第二载台(22)和照射区域(R)之间，确保有第一载台(21)上的基板(S)通过照射区域(R)的量以上的空间(L2)。 |
