发明名称 一种具压电特性的橡胶材料薄膜结构与制造方法;THIN FILM FABRICATION OF RUBBER MATERIAL WITH PIEZOELECTRIC CHARACTERISTICS
摘要 本发明所提供之一种具压电特性的橡胶材料薄膜结构与制造方法。本发明系利用高分子铸造、多层堆叠、表面改质、以及微电浆制程所开发出来。为了实现所需的机电感应灵敏度,设计并制造了内含微米孔洞的二甲基矽氧烷结构,并布植双极性电荷于孔洞内部的上下表面,植入的成对电荷具有电偶极的特性,可产生多样的机电感应关系。
申请公布号 TW201436312 申请公布日期 2014.09.16
申请号 TW102107965 申请日期 2013.03.06
申请人 国立清华大学 发明人 苏育全;王志哲
分类号 H01L41/193(2006.01);H01L41/22(2013.01);B32B27/28(2006.01);C08L83/04(2006.01) 主分类号 H01L41/193(2006.01)
代理机构 代理人 <name>翁仁滉</name>
主权项
地址 NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY 新竹市光复路2段101号