发明名称 第III族氮化物半导体器件及其制造方法
摘要 提供一种第III族氮化物半导体器件,其在第III族氮化物半导体层的(000-1)面侧与电极之间具有良好的欧姆接触,并能够在较低电压下工作。所述第III族氮化物半导体器件(100)特征在于:在所述第III族氮化物半导体层110的(000-1)面侧的规定区域120内具有多个圆顶状圆形凸部124;和在所述规定区域120的上表面上具有电极128。
申请公布号 CN104040736A 申请公布日期 2014.09.10
申请号 CN201280065179.8 申请日期 2012.12.12
申请人 同和电子科技有限公司 发明人 门胁嘉孝;丰田达宪
分类号 H01L33/22(2006.01)I 主分类号 H01L33/22(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种具有第III族氮化物半导体层的第III族氮化物半导体器件,其包含:在所述第III族氮化物半导体层的(000‑1)面侧的规定区域内的多个圆顶状圆形凸部;和在所述规定区域的上表面上的电极。
地址 日本东京都
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