一种离子束垂直聚焦装置

摘要

本发明公开了一种离子束垂直聚焦装置，所述离子束垂直聚焦装置包括具有透镜腔体的壳体，以及装在壳体上的盖板；所述盖板上装有冷却液接头和电器接头；所述壳体的透镜腔体内装有至少一对用于产生对称磁场对离子束进行垂直聚焦的磁铁，每对磁铁之间形成用于通过离子束的扇形的束流通道，该束流通道左右两侧壁与相应侧的磁铁产生的磁力线垂直；所述磁铁竖向布置，所述束流通道横向布置；所述束流通道与磁铁之间设有防止金属污染透镜腔体的石墨防护板。本发明可以调节经过分析器分析后束流的垂直聚焦状态，保证在不同束流状态下的分析精度和束流的传输效率。

主权项

一种离子束垂直聚焦装置，包括具有透镜腔体的壳体（1），以及装在壳体（1）上的盖板（2）；所述盖板（2）上装有冷却液接头（5）和电器接头（4）；其特征是，所述壳体（1）的透镜腔体内装有至少一对用于产生对称磁场对离子束进行垂直聚焦的磁铁（10），每对磁铁之间形成用于通过离子束的扇形的束流通道（11），该束流通道（11）左右两侧壁与相应侧的磁铁（10）产生的磁力线垂直；所述磁铁（10）竖向布置，所述束流通道（11）横向布置；所述束流通道（11）与磁铁之间设有防止金属污染透镜腔体的石墨防护板（9）。