芯片放置装置

摘要

本实用新型提供了一种芯片放置装置，包括：真空腔室以及与所述真空腔室相连的芯片支架，所述芯片支架远离所述真空腔室的表面上设置有若干个均匀排列的凹槽，所述凹槽的底部设置有吸附孔，所述吸附孔与所述真空腔室相连通。将芯片放置于凹槽中，通过转动芯片支架使得所有芯片在凹槽中有规则的排列，从而达到使用设备自动测量芯片的目的，避免手动贴附芯片以及手动测量，节省了人力成本，并且节省了测量时间，提高了测量的效率；同时，凹槽通过吸附孔与真空腔室相连通，通过真空吸附使得芯片与芯片支架完全接触，提高了测量的精度。

主权项

一种芯片放置装置，其特征在于，包括真空腔室以及与所述真空腔室相连的芯片支架，所述芯片支架远离所述真空腔室的表面上设置有若干个均匀排列的凹槽，所述凹槽的底部设置有吸附孔，所述吸附孔与所述真空腔室相连通。