一种多晶硅棒的生产装置及其方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅棒的生产装置及其方法。装置包括由钟罩和底盘组成的炉膛、起气流冷却和分隔作用的内部冷却空间、在环形空间内均布的高温硅棒、由喷口、低温混合区及高速搅拌组合的硅烷混合稀释系统、以及能在炉膛内产生循环气流并在环形空间内产生高速旋风气流的风轮，风轮驱动硅烷及其分解副产物氢气在内部形成高度稀释的高速旋风状循环气流，气流与硅棒正交接触，加速硅烷向高温沉积表面的输运和反应，在抑制粉尘产生的条件下快速沉积致密、均质、高纯的多晶硅棒，降低能耗。

主权项

一种多晶硅棒的生产装置，包括反应器，以及设于反应器内的硅棒，其特征在于：反应器内部设有硅烷处理系统，反应器的下部设有旋风状循环气流发生装置。