评估物件的方法及系统

摘要

本发明提供了一种用于评估物件的方法、系统和电脑程式产品；该方法包括：(i)获得物件一区域的图像；其中该区域包括至少部分地被至少一组非重复区域所围绕的多个阵列的重复结构元件；其中属于单一组非重复区域的多数非重复区域理想地为彼此相同；其中该非重复区域以重复方式排列；以及(ii)回应第一子区域的图像资讯与紧邻该第一子区域的第二子区域的图像资讯之间的比较，而提供评估结果；其中该第一子区域包括第一阵列重复结构元件和第一非重复区域；其中该第二子区域包括第二阵列重复结构元件和第二非重复区域。

主权项

一种用于评估一或更多晶粒的方法，该方法包括以下步骤：使用一成像装置来获得一或更多晶粒之一区域的一图像，该晶粒的该区域包括复数个阵列的重复结构元件，该等多个阵列的重复结构元件至少部分地被一或更多组非重复区域所围绕；其中对于该一或更多组非重复区域的每一特定组(subject group)而言，该特定组中的非重复区域以重复方式排列，以及比较该区域的一第一子区域的图像资讯与该区域的一第二子区域的图像资讯，其中该第二子区域邻近于该第一子区域，该第一子区域包含一第一阵列之该等复数个阵列的重复结构元件以及一第一非重复区域，且该第二子区域包含一第二阵列之该等复数个阵列的重复结构元件以及一第二非重复区域；以及回应该比较而提供一评估结果，该评估结果指示受比较之该等子区域中是否存在缺陷。