流体喷射器上的非湿润涂层

摘要

本发明公开了一种流体喷射器，所述流体喷射器包括具有外表面和内表面的基板。非湿润涂层可以覆盖外表面的至少一部分，并且可以基本上不存在于流动路径中。非湿润涂层可以由分子聚集体形成。非湿润涂层的前体可以在高于基板的较高温度流入室中。非湿润涂层可以位于籽晶层上面。籽晶层的外部可以具有与内部相比较高浓度的水分子或较大的密度。外部可以在水的局部压力与基质前体的局部压力的比率下沉积，所述比率高于内部的比率。氧等离子可以被施加到外表面上的籽晶层，并且非湿润涂层可以被施加在籽晶层上。

主权项

一种流体喷射器，包括：基板，所述基板具有外表面和内表面，所述内表面限定朝向所述外表面中的孔口的流体流动路径；籽晶层，所述籽晶层具有与所述基板相比不同的成分且至少涂敷所述基板的所述外表面，所述籽晶层包括俘获在无机基质中的水分子，所述籽晶层包括内部和与所述内部相比更远离所述基板的外部，所述外部与所述内部相比具有更高浓度的水分子；和非湿润涂层，所述非湿润涂层在所述籽晶层上面，并且覆盖所述外表面的至少一部分且基本上不存在于所述流动路径中。