发明名称 一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法
摘要 本发明涉及一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法,该装置采用内部加热的方式对洗涤塔底部的液固混合物进行固液分离,能够保证洗涤塔更稳定的运行,不需额外建立一套独立的渣浆处理装置,极大降低了渣浆处理的水及碱液耗量,本发明具有设备结构以及工艺简单,容易操作,效果明显等优点,因此该装置及其使用方法具有广阔的市场前景。
申请公布号 CN103145132B 申请公布日期 2014.08.20
申请号 CN201310072863.5 申请日期 2013.03.07
申请人 江西景德半导体新材料有限公司 发明人 谷双;邓新贵;王启海;朱宝毅;陈惟勤;李俊;刘芳;彭洁;何超睿;欧阳启文;刘慎华
分类号 C01B33/107(2006.01)I 主分类号 C01B33/107(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置,包括移动罐(1)、列管式换热器(2)、蒸汽导入管道(3)、氮气导入管道一(4)、蒸汽和凝液导出管道(5)、氮气导出管道一(6)、氯硅烷气体导出管道(7)、温度表一(10)、压力表一(11)、温度表二(12)、过滤器(13)、压力表二(15)、移动罐导入管道(17)、连接法兰(18),其特征在于:所述列管式换热器(2)顶部设置有蒸汽导入管道(3)和氮气导入管道一(4),底部设置有蒸汽和凝液导出管道(5)和氮气导出管道一(6),所述氮气导出管道一(6)通过连接法兰(18)与移动罐导入管道(17)相连;所述移动罐(1)顶部设置有氯硅烷气体导出管道(7)和压力表二(15),所述氯硅烷气体导出管道(7)上设置有过滤器(13)和温度表二(12)。
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