发明名称 一种微机械万向碰撞开关
摘要 本发明公开了一种微机械万向碰撞开关。固定在绝缘衬底(1)中心位置的中心弹簧支撑座(2)连接弧形支撑弹簧(4)的一端,弧形支撑弹簧(4)的另一端连接并支撑起悬空的环形质量块(6);固定在绝缘衬底(1)上的固定电极支撑座(3)均匀分布于环形质量块(6)外侧,并通过蛇形支撑弹簧(5)与悬空的固定电极(7)相连。环形质量块(6)分别与的圆弧侧板(9)和圆弧顶板(10)之间存在径向接触间隙和轴向接触间隙。环形质量块(6)外侧凹口内设置有限位销(8)。本发明对来自绝缘衬底(1)上方任一方向的加速度都有良好响应并具有较好的抗高过载性能。
申请公布号 CN102693865B 申请公布日期 2014.08.20
申请号 CN201210198176.3 申请日期 2012.06.15
申请人 南京理工大学 发明人 席占稳;聂伟荣;程玄玄;张平
分类号 H01H35/14(2006.01)I 主分类号 H01H35/14(2006.01)I
代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国
主权项 一种微机械万向碰撞开关,其特征在于:包括绝缘衬底(1)、中心弹簧支撑座(2)、多个固定电极支撑座(3)、多个弧形支撑弹簧(4)、多个蛇形支撑弹簧(5)、环形质量块(6)、多个固定电极(7)和多个限位销(8),中心弹簧支撑座(2)固定设置在绝缘衬底(1)的中心位置,由中心弹簧支撑座(2)作为支撑点固定弧形支撑弹簧(4)的一端,弧形支撑弹簧(4)的另一端共同连接并支撑起环形质量块(6),使环形质量块(6)悬空设置在绝缘衬底(1)上;固定电极支撑座(3)固定设置在绝缘衬底(1)上,均匀分布于环形质量块(6)外侧,并通过蛇形支撑弹簧(5)连接固定电极(7),使固定电极(7)悬空设置在绝缘衬底(1)上;在环形质量块(6)的边缘位置上均匀开有数个凹口,每个凹口均位于相邻的两个固定电极(7)之间,限位销(8)设置在凹口内并固定在绝缘衬底(1)上,限制环形质量块(6)水平和垂直方向的过大位移及自身的旋转;所述固定电极(7)设置在环形质量块(6)的外侧,固定电极(7)是与环形质量块(6)为同心圆的带翻边的圆弧梁,由圆弧侧板(9)与圆弧顶板(10)相互垂直连接而成;圆弧侧板(9)与环形质量块(6)之间存在径向接触间隙为10~50微米,圆弧顶板(10)覆盖环形质量块(6)外侧的一部分,圆弧顶板(10)与环形质量块(6)之间存在轴向接触间隙为10~50微米。
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