主权项 |
一种微机械万向碰撞开关,其特征在于:包括绝缘衬底(1)、中心弹簧支撑座(2)、多个固定电极支撑座(3)、多个弧形支撑弹簧(4)、多个蛇形支撑弹簧(5)、环形质量块(6)、多个固定电极(7)和多个限位销(8),中心弹簧支撑座(2)固定设置在绝缘衬底(1)的中心位置,由中心弹簧支撑座(2)作为支撑点固定弧形支撑弹簧(4)的一端,弧形支撑弹簧(4)的另一端共同连接并支撑起环形质量块(6),使环形质量块(6)悬空设置在绝缘衬底(1)上;固定电极支撑座(3)固定设置在绝缘衬底(1)上,均匀分布于环形质量块(6)外侧,并通过蛇形支撑弹簧(5)连接固定电极(7),使固定电极(7)悬空设置在绝缘衬底(1)上;在环形质量块(6)的边缘位置上均匀开有数个凹口,每个凹口均位于相邻的两个固定电极(7)之间,限位销(8)设置在凹口内并固定在绝缘衬底(1)上,限制环形质量块(6)水平和垂直方向的过大位移及自身的旋转;所述固定电极(7)设置在环形质量块(6)的外侧,固定电极(7)是与环形质量块(6)为同心圆的带翻边的圆弧梁,由圆弧侧板(9)与圆弧顶板(10)相互垂直连接而成;圆弧侧板(9)与环形质量块(6)之间存在径向接触间隙为10~50微米,圆弧顶板(10)覆盖环形质量块(6)外侧的一部分,圆弧顶板(10)与环形质量块(6)之间存在轴向接触间隙为10~50微米。 |