集成硅光学机械陀螺仪（OMGS）

摘要

一种系统具有光学机械陀螺仪装置。光学机械圆盘充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器。驱动激光器生成光学驱动信号。驱动通道充当对于光学驱动信号的波导并且包括关于光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极。该驱动电极通过渐逝耦合来激发环。驱动光电检测器配置成从驱动通道接收输出光学信号。感测激光器生成光学感测信号。感测通道充当对于光学感测信号的波导并且包括关于光学机械圆盘位于第二邻近处的感测电极。感测光电检测器配置成从所述感测通道接收输出光学信号。

主权项

一种设备，其包括：光学机械圆盘，其充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器；驱动激光器，用于生成光学驱动信号；驱动通道，用于充当对于所述光学驱动信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极，所述驱动电极通过渐逝耦合来激发所述环；驱动光电检测器，其配置成从所述驱动通道接收输出光学信号；感测激光器，用于生成光学感测信号；感测通道，用于充当对于所述光学感测信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第二邻近处的感测电极；感测光电检测器，其配置成从所述感测通道接收输出光学信号。