一种动阀式压电泵

摘要

本发明涉及一种动阀式压电泵，包括泵体和端盖，其特点在于还包括布置有单向阀的压电式集成振子，其中：泵体内部有空腔结构，其中同向布置有至少两个集成振子，形成至少一个密封的泵腔；所述集成振子由具有通孔的双晶片压电振子外部布置弹性表层构成，所述弹性表层第一侧与通孔对应位置布置有阀口凸台，另一侧布置有阀口沉孔，在阀口凸台上布置有一单向阀开口；工作时，集成振子在交变电压作用下发生往复的弯曲变形，配合单向阀开口的打开和关闭形成泵送流体的能力，采用这种特殊单向阀开口结构与压电振子集成的优点在于无需装配过程，所形成的单向阀特性更适合用于压电泵。

主权项

一种动阀式压电泵，包括泵体(1)和端盖(3)，其特点在于还包括布置有单向阀的压电式集成振子(2)，其中：泵体(1)内部布置有空腔结构，至少两个集成振子(2)同向布置在所述泵体(1)内部，与泵体(1)形成密封的泵腔(4)，两端的集成振子(2)分别与布置于泵体(1)两端的端盖(3)形成出口缓冲腔(5)和入口缓冲腔(6)，所述出口缓冲腔(5)与出口管连接，所述入口缓冲腔(6)与入口管连接；所述集成振子(2)由具有通孔(213)的双晶片压电振子(21)外部布置弹性表层(22)构成，所述弹性表层22第一侧与通孔(213)对应位置布置有阀口凸台(23)，另一侧布置有阀口沉孔(24)，所述阀口沉孔(24)的底面位于弹性表层(22)外表面与阀口凸台(23)的顶面之间，在阀口凸台(23)上布置有一单向阀开口(25)，所述单向阀开口(25)连通阀口沉孔(24)内侧与阀口凸台(23)外侧。