一种降低摆片激光切割损伤的方法

摘要

本发明提出一种降低摆片激光切割损伤的方法，通过制作切割辅助装置、安装、加热、激光切割等步骤降低了摆片激光加工过程中切割损伤。本发明通过独特的切割辅助装置精确定位，同时在摆片加热状态下进行激光切割，既可以实现高的定位精度，又可以降低激光切割的损伤，提高产品质量；本发明切割辅助装置通过内外支撑环和中心支撑台对摆片进行支撑，使摆片加工过程中支撑稳定，提高了安装的可靠性和切割图形与摆片设计结构的位置符合性；本发明在加工过程中同时加热切割辅助装置和安装于切割辅助装置上的摆片，使摆片在高温下进行切割，以降低所采用激光束的能量，同时减小切缝处的温度梯度，起到减少残余应力的目的。

主权项

一种降低摆片激光切割损伤的方法，其特征在于通过以下步骤实现：第一步，制作切割辅助装置，切割辅助装置为圆柱体整体加工而成，包括外支撑环(1)、基准标记线(2)、中心支撑台(3)、内散热通孔(4)、外散热通孔(5)、定位孔(6)、内支撑环(7)和本体(8)，外支撑环(1)为环形台阶结构，形成上、中、下三个表面，其中台阶上表面(11)与本体(8)上表面等高，台阶下表面(13)为封闭圆环，内支撑环(7)位于外支撑环(1)内部，为“C”形圆弧结构，中心支撑台(3)位于内支撑环(7)内部，内支撑环(7)、中心支撑台(3)的上表面与外支撑环(1)的台阶中表面(12)等高，内支撑环(7)和外支撑环(1)之间的台阶下表面(13)上加工外散热通孔(5)，在内支撑环(7)和中心支撑台(3)之间的台阶下表面(13)上加工内散热通孔(4)，在外支撑环(1)外侧的本体(8)上加工定位孔(6)，外支撑环(1)与切割辅助装置的中心重合，在切割辅助装置的中心加工基准标记线(2)，内支撑环(7)的两个端面共面，并与切割辅助装置水平向的中心线平行；第二步，将待加工的摆片安装在切割辅助装置中，将待加工的摆片放置在外支撑环(1)上，外支撑环(1)的周向定位待加工的摆片，内支撑环(7)、中心支撑台(3)和外支撑环(1)的台阶中表面(12)支撑待加工的摆片；第三步，将安装了待加工的摆片的切割辅助装置安装在激光机工作台上，通过定位孔(6)将切割辅助装置定位在激光机工作台上，调整位置使切割辅助装置的基准标记线(2)与激光机的中心十字线对齐，调整激光机激光头高度使激光焦点位于待加工的摆片厚度的1/3～1/2处；第四步，加热，将待加工的摆片和切割辅助装置一起加热到200～400℃；第五步，激光切割，激光切割待加工的摆片，切割过程按照摆片结构从内向外顺序加工，所有圆弧均依照顺时针或逆时针方向切割；第六步，激光切割完成后，停止加热，自然冷却后，将切割辅助装置从激光机工作台上取下，然后将加工好的摆片从切割辅助装置中取出。