溅镀方法及功能元件的制造方法

摘要

本发明提供一种溅镀方法及功能元件的制造方法，在使用将热喷涂膜形成于表面上之防着构件的溅镀处理中，减低杂质混入堆积于基板上之膜中，可改善包含该膜之功能元件的元件特性。本发明之一态样在于，在具备基材、形成于基材上之热喷涂膜、及形成于热喷涂膜上之防扩散膜的防着构件被配置于处理室内之状态下，藉溅镀处理而于基板上进行成膜。防扩散膜具有防止存在于基材的表面或热喷涂膜所含之Na和Al此类的杂质扩散至基板处理空间之作用。