一种气浮平面电机初始零位的定位方法

摘要

一种气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台，定子平台上方固定安装平面磁钢阵列，动子平台采用气浮支承，且动子平台下表面固定安装结构相同的四组三相线圈，其中第一、三组线圈长边沿Y方向，第二、四组线圈长边沿X方向，每组线圈采用星型连接方式，所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角，所述定位方法包括：采用驱动装置给任意不同方向的两组线圈输入一定规律的电流，驱动动子平台运动，两组线圈达到平衡位置，最终实现动子平台定位到初始零位。本发明为气浮永磁平面电机系统提供了一种简单、便捷的初始零位确定方法，为动子平台控制系统测量设备的正常工作提供必要的工作条件。

主权项

一种气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台（101）和动子平台（103），定子平台（101）上方固定安装磁钢阵列（102），动子平台（103）采用气浮轴承（205）支承，动子平台（103）下表面固定安装线圈阵列（200），所述线圈阵列（200）包括结构相同的四组三相线圈，其中第一组线圈（201）和第三组线圈（203）长边沿Y方向，第二组线圈（202）和第四组线圈（204）长边沿X方向，每组三相线圈均采用星型连接方式，所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角的位置，其特征在于，所述定位方法包括以下步骤：1）在动子平台（103）的四组线圈中，选取两组相互垂直线圈，设选取的线圈为：第一组线圈（201）和第二组线圈（202）；2）第一组线圈（201）各相线圈和第二组线圈（202）各相线圈分别接入驱动器装置（301），所述驱动器装置（301）包括六个线性驱动器；3）驱动器分别给第一组线圈（201）各相线圈通入电流I₁₁、I₁₂和I₁₃，分别给第二组线圈（202）各相线圈通入电流I₂₁、I₂₂和I₂₃，并且通入电流满足以下关系：$\left\{\begin{array}{c}{I}_{11}+I_{12}+I_{13}=0\\ I_{21}+I_{22}+I_{23}=0\end{array}\right.;$4）经过上述步骤1）到步骤3），动子平台（103）运动到初始零位的位置，系统每次上电工作前，依照步骤1）至步骤3）进行初始零位的确定，此时，系统的测量设备正常工作，驱动装置切换到平面电机正常工作状态下。