测量气体的质量流率的方法及设备

摘要

本发明提供一种用于测量气体的质量流率之量计(200、350)。该量计是包含：在使用时气体流动通过之导管(206)，该导管具有在使用时在通过时发生扼流之节流孔口(212)，该节流孔口将导管分开成该孔口之上游的上游部份(214)、及该孔口之下游的下游部份(216)；且该量计是又包含：感测器组合(204)，在该上游部份该感测器组合是包含压电式晶体振荡器(218)而使得当量计在使用时该压电式振荡器是与该气体相接触，且该感测器组合是配置成：可驱动压电式晶体振荡器而使得压电式晶体振荡器在共振频率共振，可测量该压电式晶体振荡器之共振频率，及可从共振频率而测定通过孔口的质量流率。

主权项

一种测量气体的质量流率的方法，该气体系通过具有一孔口(212)的导管，在通过该孔口时发生扼流，该孔口将该导管分开成该孔口之直接上游的上游部份、及该孔口之下游的下游部份，该上游部份包含一包含至少两个平面叉齿的压电式晶体振荡器(218)而与孔口之上游的气体相接触，该方法包括：a)驱动该压电式晶体振荡器而使得压电式晶体振荡器在共振频率共振(402)；b)测量压电式晶体振荡器之共振频率(404)；及c)测定通过该孔口之气体的质量流率(408)，其系从被测得的该压电式晶体振荡器的共振频率与该孔口之上游的气体密度的关系，及从该质量流率与该孔口之上游的气体密度、该孔口之截面积及于该气体的音速之间的关系而测定。