发明名称 一种增强表面等离子体光场激发强度的方法
摘要 本发明公开了一种增强表面等离子体光场激发强度的方法,采用器件包括透明基底、纳米结构层、金属/介质多层膜和激发增强层;透明基底上的纳米结构层将照明平面波衍射为各级次平面波。利用金属/介质多层膜的超衍射频谱操控光学特性,对于各级次平面波透射金属/介质多层膜后将产生特定单一级次的表面等离子体光场,激发增强层能够极大地增强金属/介质多层膜滤波产生的表面等离子体光场的激发强度,最终可以在激发增强层的上表面形成纵向5nm~50nm范围内倏逝的表面等离子体光场。本发明可以实现高度倏逝局域、高激发效率和高信噪比的表面等离子体光场。有望用于超分辨显微的结构照明、表面等离子体干涉光刻、表层显微、表面等离子体生物传感等领域。
申请公布号 CN103969843A 申请公布日期 2014.08.06
申请号 CN201410174953.X 申请日期 2014.04.28
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 罗先刚;赵泽宇;王长涛;王彦钦;姚纳;胡承刚;蒲明薄;王炯;高国函;马晓亮
分类号 G02B27/58(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G02B27/58(2006.01)I
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人 孟卜娟;贾玉忠
主权项 增强表面等离子体光场激发强度的器件,其特征在于,所述器件包括:透明基底;用于对照明光衍射出各级次平面波的纳米结构层;用于对照明光衍射出各级次平面波进行空间频谱范围和透射振幅调制的金属/介质多层膜;用于增强金属/介质多层膜滤波产生表面等离子体光场激发强度的激发增强层。
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