一种堆栈式图像传感器制备方法

摘要

本发明提供了一种堆栈式图像传感器制备方法，通过将滤光层嵌入设置在金属栅中，相比较传统技术而言，节省了很多不必要的不步骤，提高了机台利用效率，有利于降低生产成本；同时采用本发明所制备出的图像传感器也能够有效降低串扰对图像的影响，进而提高输出的图像质量。

主权项

一种堆栈式图像传感器制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一半导体器件，所述半导体器件包括一逻辑晶圆及键合在所述逻辑晶圆上方的器件晶圆，所述逻辑晶圆中嵌入设置有第一金属电极，所述器件晶圆中嵌入设置有第二金属电极；在所述器件晶圆的上表面依次沉积介电层、缓冲层和牺牲氧化层后，刻蚀所述牺牲氧化层至所述器件晶圆中，形成第一沟槽；继续部分刻蚀所述第一沟槽的底部至所述第一金属电极上表面，以形成位于第一沟槽下方的第二沟槽；在所述第一沟槽和第二沟槽中填充金属材料后，继续沉积一层阻挡层，并刻蚀该阻挡层至所述器件晶圆的上表面，以形成用于后续接地端引出的第三沟槽；依次沉积一金属层和一钝化层后，继续采用刻蚀工艺，以于所述器件晶圆上形成焊盘、接地引线、遮光器以及金属栅；滤光层的形成以及图像传感器的后段制程；其中，所述金属栅嵌入设置于所述滤光层中。