电极横向可动的微机械圆盘谐振器

摘要

本发明公开了一种电极横向可动的微机械圆盘谐振器。其中振动圆盘由底面锚支撑，并在圆盘上方设置偏置电压焊点。输入输出电极上方分别引入交流电压焊点和交流电流焊点。输入输出电极另一端连接一个矩形电极杆，并连接到由点状支承固定的矩形弹性臂。矩形弹性臂和点状支承之间由电极臂连接。矩形弹性臂和电极臂表面设置电绝缘层二氧化硅，并在上方铺上金属导线。采用外部金丝球焊技术用金线将金属导线两端的驱动电流焊点连接到封装管壳引脚上，并接入恒流源。本发明通过安培力的作用，使电极产生固定的横向移动，优化了电极结构。通过横向可动电极，弥补了工艺误差导致的两端电极间隙不匹配，从而降低运动电阻，提高谐振器性能。

主权项

电极横向可动的微机械圆盘谐振器，包括振动圆盘、电极、电极杆、矩形弹性臂、电极臂、点状支承、金属导线和基片，其特征在于：振动圆盘两侧对称设置有电极，其中的一个电极为输入电极、另一个电极为输出电极；电极杆的一端与电极连接，另一端与矩形弹性臂连接，矩形弹性臂的两端分别通过电极臂与点状支承固定，点状支承下方为基片；矩形弹性臂和电极臂表面设置二氧化硅电绝缘层，并在上方铺上金属导线，采用外部金丝球焊技术用金线将金属导线两端的驱动电流焊点连接到封装管壳引脚上，并接入恒流源；将金属导线置入到一个均匀磁场中时；此时，金属导线上产生的安培力带动矩形弹性臂产生横向移动，导致电极也产生横向移动；当安培力与矩形弹性臂自身产生的弹性恢复力相等时，电极静止；通过控制输入的恒流源以及磁场的电磁感应强度大小，实现调节电极横向移动大小。