一种用于彩色薄膜太阳电池表面涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种用于彩色薄膜太阳电池表面涂层的制备方法，属薄膜太阳电池领域。这种表面涂层的制备方法主要是：以不同掺杂浓度的ZnO:B陶瓷靶为原料，利用磁控溅射镀膜系统在平板玻璃上溅射制备ZnO:B薄膜，通过控制溅射条件，可得到不同厚度的ZnO:B薄膜；结合N₂气氛中进行快速退火处理，控制退火条件，可得到不同晶粒尺寸、晶化率等微纳结构的ZnO:B薄膜。不同掺杂浓度、厚度、晶粒尺寸及晶化率的ZnO:B薄膜，其折射率、反射率等光学参数发生改变，用作薄膜太阳电池的透明导电氧化膜，可在电池表面呈现出不同色彩，从而制备出彩色薄膜太阳电池。本发明的优点为：可赋予薄膜电池表面不同色彩，达到彩色薄膜太阳电池的效果；可起到表面钝化作用，延长器件寿命，可形成反射层，增加薄膜电池吸收层对太阳光的吸收。

主权项

一种用于彩色薄膜太阳电池表面涂层的制备方法，其特征是：“采用不同掺杂浓度的ZnO:B靶材为原料，利用磁控溅射镀膜系统在衬底温度为室温~300℃的平板玻璃上以不同的本底真空、气体流量、溅射气压、溅射功率及溅射时间制备出不同掺杂浓度、不同厚度的ZnO:B薄膜；结合N₂气氛中进行快速退火处理；通过控制退火温度、时间、升温降温速率，可制备出不同晶粒尺寸、晶化率的ZnO:B薄膜；ZnO:B薄膜的掺杂浓度、厚度、晶粒尺寸及晶化率改变后，其折射率、反射率等光学参数会改变，用于薄膜太阳电池作为透明导电氧化膜可赋予薄膜太阳电池表面不同色彩，从而制备出彩色薄膜太阳电池。